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发布时间: 2022-03-02 | 有 效 期: 999 |
空气分子污染AMC作为IC工厂关心的问题于20年前先由日本人提出,近年来,世界Ic卡技术展开疾速,IC芯片日益微型化,目前曾经有赢径为0.4lilln的世界小的非接触型无线射频识别芯片。AMC对当前的IC消费其潜在的污染比粒子污染要普遍多,粒子污染控制只需求肯定粒径及个数,但对AMC控制而言,除了受芯片线宽的减少而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响。
在地质上应避开断层、流砂,选择地质构造稳定(解释:稳固安定;没有变动)、土层密实、地下水位变化较小的地区。合理利用地形、地貌,十万级洁净车间费用,例如利用河流、地面高差等自然条件,景洪十万级洁净车间,减少环境振动对厂区及洁净车间的影响。洁净车间选址应采用**的测量仪器(appliance),它应具有良好的频响、高灵敏度(Sensitivity)及信噪比,在工程建设中**坚持采用实地测试(TestMeasure)、分析(Analyse)比较的方法选择理想的厂址,切忌未经测试分析而由行政部门主观规定。
洁净厂房是我国的耗能大户之一。据不完好统计,十万级洁净车间设计,洁净室的能耗是普通写字楼的10~3O倍。我国的8英寸芯片厂,洁净室单位面积能耗比美国同类型工厂高15%(美国耗能1.28kw/m2~2.63kW/m2,而中国耗能1.48kW/m2~1.93kW/m2)。以上海某名芯片厂为例,其全年耗电量的51%是用于洁净室运转及相关的维护,假设将这51%的能耗合理降低,对企业来说就意味着利润的增长。
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